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마이크로단위

MEMS (Micro Electro-Mechanical System)

I. 반도체 제조공정 기반 초소형 기계, MEMS 가. MEMS(Micro Electro-Mechanical System)의 개념 반도체 공정기술 기반 ㎛ 혹은 ㎜ 크기의 미세…