I. 초소형 데이터 수집 센서 기술, 스마트 더스트 가. 스마트 더스트(Smart Dust)의 개념 먼지처럼 가볍고 작은 센서에 송수신기를 탑재하여 데이터를…

I. 반도체 제조공정 기반 초소형 기계, MEMS 가. MEMS(Micro Electro-Mechanical System)의 개념 반도체 공정기술 기반 ㎛ 혹은 ㎜ 크기의 미세…