I. 반도체 제조공정 기반 초소형 기계, MEMS 가. MEMS(Micro Electro-Mechanical System)의 개념 반도체 공정기술 기반 ㎛ 혹은 ㎜ 크기의 미세 가공을 통해 제작하는 초소형 정밀기계 혹은 제작기술 나. MEMS 가공 기술 표면 미세 가공 기술 – 희생층을 식각으로 제거하여 기판 위에 기계적으로 동작하는 구조 제작 기술 몸체 미세 가공 기술 – 반응성 이온 식각법 등으로