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I. 초소형 데이터 수집 센서 기술, 스마트 더스트 가. 스마트 더스트(Smart Dust)의 개념 먼지처럼 가볍고 작은 센서에 송수신기를 탑재하여 데이터를 수집, 전송하는 초미세 센서 기술 나. 스마트 더스트의 특징 초소형화/저전력 – 10mm 이하 크기 및 100uW 미만 전력 자율센서 네트워크 – Ad-hoc 방식의 이동식 무선 센서 네트워크 구성   II. 스마트 더스트의 개념도 및 기술요소

I. 반도체 제조공정 기반 초소형 기계, MEMS 가. MEMS(Micro Electro-Mechanical System)의 개념 반도체 공정기술 기반 ㎛ 혹은 ㎜ 크기의 미세 가공을 통해 제작하는 초소형 정밀기계 혹은 제작기술 나. MEMS 가공 기술 표면 미세 가공 기술 – 희생층을 식각으로 제거하여 기판 위에 기계적으로 동작하는 구조 제작 기술 몸체 미세 가공 기술 – 반응성 이온 식각법 등으로